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          端导真镀机
          机型:r-bc10
          端导真镀机主要参数
          规格
          规范
          功能确认
          备注

          机型:R-BC10

          端导真镀机主要参数

          规格

          规范

          功能确认

          备注

          适用产品型别

          0402  0603  0805  1206型别(需指定)

          真空检测

          复合真空计(含电阻规+电离规)

          电源

          3P4W 220V/380V  50Hz

          溅射方式

          直流脉冲磁控溅射,功率12KW

          气压

          5kg/c㎡  以上(饱和压力)

          治具溅射方式

          自传+公转夹角溅射,转速0~5r/min可调

          操作接口

          触控屏幕

          工作气体输送

          质流量计(MFC)+电磁阀组合,输入Ar(0~100sccm±0.1%)

          产能

          30min/

          空载极限真空

          1.0×10-4Pa

          良率

          99%以上

          泄漏率

          真空度由1.0×10-4Pa降至5.0×10-2Pa时间≥5min

          稼动率

          85%

          空载抽速

          常压到6.0×10-2Pa用时≤10min

          抽真空系统

          油扩散泵+机械泵系统

          阻抗

          测量单片瓷条端面阻抗小于100Ω

          端导真镀机功能说明

          腔体:

          1.转盘

          2.治具

          真空计:

          1.复合式数显真空计

          2.电阻规

          3.电离规

          溅射靶:

          1.镍铬靶材

          2.磁控源

          真空阀:

          1.主阀

          2.底阀

          3.粗抽阀

          4.节流阀

          5.管道阀(连接各泵浦管道阀门)

          水冷系统:

          1. 进出水管路

          2. 水压表及缺水报警器

          电柜:

          1.人机界面

          2.磁控电源

          3.偏压电源

          抽真空系统:

          1.单片旋片泵

          2.扩散泵

          软件功能:

          1.制程报告记录

          2.可预设10组工作参数

          3.警讯履历

          4.真空度、电流、电压趋势图

          5.Target换靶预警功能

          6.硬件动作interlock、错误动作保护功能

          设备性能:

          1.本设备采用单片旋叶泵+扩散泵组合抽真空系统,抽真空速度较快,从大气压抽到工作真空需要约5MIN,比之前设备节约25min/炉以上。效率提升30%-50%,单炉生产在25-30min以内。

          2.保养周期长,连续生产无需保养(除日常靶材保养),受环境影响较小,无停机后重启时间上等问题。

           3.优良的人机通讯功能,操作更便捷。可连续存储一年的工艺参数,便于品质跟踪。强大的数据处理功能,可与现场ERP连接使用。

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